Confrontando XY

Apr 02, 2023

Questi sistemi possono essere configurati e forniti come componenti singoli o come sistemi di movimento integrati completi con interfacce personalizzate, soluzioni di gestione dei cavi, passanti per vuoto e strutture integrate in granito e alluminio ottimizzate per l'applicazione.

Articolo da | PI

Gli stadi XY-Theta a 3 assi ad alta precisione (assiemi XYT) sono fondamentali in molti processi di test e produzione correlati alla lavorazione di precisione laser, al test e alla produzione di semiconduttori e fotonica e alla produzione di dispositivi medici. PI offre un set di soluzioni ampio e completo per sistemi di movimento XY-Theta integrati con controller di movimento industriali. Questi sistemi possono essere configurati e forniti come componenti singoli o come sistemi di movimento integrati completi con interfacce personalizzate, soluzioni di gestione dei cavi, passanti per vuoto e strutture integrate in granito e alluminio ottimizzate per l'applicazione.

Un gruppo stadio XY-Theta a base di granito ad altissime prestazioni basato su uno stadio XY con cuscinetto ad aria planare A-322 con una tavola rotante con cuscinetto ad aria.

Gruppo stadio XY-theta compatto, a basso profilo, basato su cuscinetto d'aria. Guarda il cuscinetto d'aria A-311 XY in movimento

I team di ingegneri di PI hanno una vasta competenza ed esperienza con la tecnologia dei cuscinetti ad aria e i sistemi di movimentazione multiasse. Le prestazioni ultraprecise dei sistemi di posizionamento dei cuscinetti ad aria ingegnerizzati insieme alla loro natura antiusura li rendono soluzioni ideali per applicazioni di semiconduttori che coinvolgono movimento lineare e rotatorio combinato.

Tavolino XY-Theta personalizzato basato sul tavolino con cuscinetto d'aria XY a corsa lunga A-311 e tavolino rotante A-621 per rotazione Theta-Z a 360°

Nell'immagine sopra, una tavola di movimento planare XY con cuscinetto ad aria A-311 personalizzata e a basso profilo è combinata con uno stadio di rotazione con cuscinetto ad aria ad alta precisione serie A-621 in un gruppo XYT di precisione.

Video: stadio con cuscinetti ad aria XY-Theta basato su stadi planari XY a basso profilo (modello A-311) e stadio Theta-Z con cuscinetti ad aria a trasmissione diretta (modello A-623). Questo tavolino compatto a 3 assi è particolarmente adatto per applicazioni laser, test e metrologia ad alte prestazioni.

Quando sono richiesti più gradi di libertà, gli stadi XY possono essere combinati con un modulo di movimento Z-Tip-Tilt (ZTT) a basso profilo per formare sistemi a 5 assi come lo stadio wafer 5-DOF per applicazioni di metrologia dei semiconduttori, mostrato in il video qui sotto. Il modulo ZTT può anche essere aggiunto agli stadi XY-Theta per applicazioni di movimento 6DOF.

Video: tavolo metrologico wafer a 5 assi con cuscinetti ad aria

I gruppi di palco a 3 assi PI XY-Theta utilizzano componenti ACS Industrial Motion Control. I controller PI basati su ACS utilizzano configurazioni ottimizzate per le migliori prestazioni delle applicazioni. Ciò include sistemi preconfigurati con informazioni sui parametri di sistema ottimizzati pronti per il funzionamento immediato, incluso l'attivazione del dispositivo sincronizzato con il movimento tramite l'hardware del modulo di controllo laser (LCM)/interfaccia di controllo laser (LCI) nonché funzionalità di sicurezza funzionale come Safe Torque Spento.

Il modulo di controllo laser ACS

La funzionalità Safe Torque Off (STO) certificata PL e/SIL 3 offre ai costruttori di macchine un modo semplice ed economico per implementare la sicurezza delle macchine. STO è disponibile in determinati controller di movimento PI.

In molte applicazioni, la compattezza è fondamentale per l'integrazione degli strumenti. Il sistema di movimento multiasse ad azionamento diretto con tavolino lineare a basso profilo V-508 / tavolino rotante a basso profilo V-610 è un esempio di un gruppo a 3 assi leggero e ad alte prestazioni a profilo estremamente basso, estremamente compatto e inoltre tecnologicamente flessibile per affrontare in modo ottimale sia le applicazioni di scansione a passo e assestamento rapidi che quelle fluide e coordinate con tolleranze di errore che vanno dai nanometri ai micron.

Gruppo tavolino XY-Theta con apertura trasparente per il percorso della luce, che fornisce una corsa di 25x80 mm. Il gruppo è costituito da due stadi di traslazione lineare compatti V-508 e uno stadio rotativo ad azionamento diretto V-610.

Le applicazioni di automazione industriale ad alto rendimento di movimento di precisione comportano in genere movimenti ripetitivi con carichi e accelerazioni più elevati. In questo caso, il gruppo stadio di automazione di precisione serie V-817 con tavola rotante ad azionamento diretto, mostrato sopra, fornisce un'elevata accelerazione e un movimento a ciclo di lavoro elevato con efficienti motori lineari trifase e motori torque che offrono elevata forza continua e di picco. La costruzione e il design rigidi dello stadio utilizzando leghe di alluminio di tipo aeronautico forniscono rigidità per gestire impulsi elevati per brevi periodi di tempo con adeguata precisione. I cuscinetti di precisione per camion e rotaie sono implementati sia per le caratteristiche di carico che per la lunga durata operativa. Lo stadio rotativo integrato ad azionamento diretto ad alta velocità con coppia elevata viene utilizzato per prestazioni di scansione e stabilizzazione dinamica.